显微维氏硬度计最适合于测试金属结构，包括微小的零件、薄板、金属箔、优质电线、薄硬化层和电镀层。它还可用于测试诸如玻璃、珠宝和陶瓷等用洛氏测试方法及其它大试验力测试无法测试的非金属材料。特别的是，它能遵循金属的结构，测试硬化或渗碳化等材料的内部硬度。

测试由两个部分组成。在第一部分，金刚石压头被一个已知大小的力驱动，压入被测材料的表面。在第二部分，用户测量并输入压痕的对角线长度，主机自动计算出相应的维氏硬度值。

在测试的开始阶段，硬度计使压头下降，直至压头刚好接触试件的表面。试验力在这一点开始加载并到达已选择好的设定值。硬度计接着按选择好的保荷时间，将保持此力一段时间。

在保荷时间的最后，测试力开始卸除负荷并回到初始点。然后把转台转到40×物镜的位置，测量压痕对角线。